高低温真空探针台主要是做什么的？

点击联系发帖人 时间：2022-09-19 20:17

手动高低温探针台

高低温真空微波探针台是一种用于电子与通讯技术范畴的工艺实验仪器，于2016年10月16日启用。

高低温真空微波探针台技术指标

1、六个探针臂接口，可以装置六个探针臂。

2、一个CF40 真空抽气口，一个疾速破真空进气口。

5、双屏蔽chuck高低温时到达100FA 的测试精度。

高低温真空微波探针台主要功能

可以完成样品在高温真空环境的测试，完成样品在10-4 PA 真空度，4.2K 到480K恣意温度点的准确电学测量，可完成直流和微波(40GHz)的测量。

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CG高低温真空探针台能够实现样品在真空高低温环境下的精确电性、光强、波长、磁场等测试，其在超低温，超高真空，自动控制，激光模拟方面发挥着独有的技术优势

CG高低温真空探针台在高低温真空环境下的芯片测试、LD/LED/PD测试、光纤光谱特性测试、材料/器件的IV/CV特性测试、霍尔测试、电磁输运特性、高频特性测试等

常见2种应用需要真空测试环境

晶圆在低温大气环境测试时，空气中的水汽会凝结在晶圆上，会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。同时由于真空绝热作用可以有效提高制冷效率。
当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时，氧化现象会越来越明显，并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差，物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。
晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换，因为热胀冷缩现象，定位好的探针与器件电极间会有相对位移，这时需要针座的重新定位，针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。

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探针台分类探针台从操作上来区分有：手动，半自动，全自动从功能上来区分有：高温探针台，低温探针台，RF探针台，LCD平板探针台，霍尔效应探针台，表面电阻率探针台经济手动型chuck尺寸100mmX,Y移动行程100mmchuck Z轴方向升降10mm（选项）搭配显微镜针座摆放个数2～4颗适用领域：4寸Wafer，如晶圆厂、LED、学术单位等半自动型chuck尺寸800mm/600mmX,Y电动移动行程200mm/150mmchuck粗调升降9mm，微调升降16mm可搭配MITUTOYO金相显微镜或者AEC实体显微镜针座摆放个数6

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