该部分由机械泵和分子泵组成，测量气压是使用电离规和电阻规测量。

真空室分成上下两个部分，上真空室直径为28cm，高度为25cm，下真空室直径为38cm，高度为21cm。上真空室顶部是由圆形石英玻璃密封。石英窗口上面放置感应线圈。基片台位于上真空室，距离窗口的距离可以调节。在上真空室的侧壁开有若干个测量窗口。

功率源有两个，参数分别是13.56MHz、1500W；13.56MHz、500W。其中500W功率源为基片台施加偏压，而1500W功率源为放电线圈提供功率。

该部分是由质量流量控制器和气瓶以及气体管路组成。

实验测量过程主要使用Hiden Langmuir 探针来诊断等离子体的电子密度，电子温度，电子能量分布函数等等。同时在放电线圈上加有电流探头（Pearson current monitor model 6600）用来测量放电时线圈电流的大小。

由于特殊的线圈装置，ICP源内存在两种放电模式：容性（E）和感性（H）模式。当线圈电流和放电功率较小时，放电处于E模式，此时等离子体具有密度低、温度高和发光弱等特点。而当增加线圈电流时，在特定的阈值下放电会突然由E模式向H模式发生转变，对应地等离子体密度陡增，均匀性大大提高，且辐射光谱强度也明显增强。