重复性： 满量程的±0.5%

温度系数： 滿量程的0.15%/°C

响应时间：在满量程的25 ~ 100%范围大约5秒达到设定流速的±2%内

泄漏完整性： 对于外界环境泄漏为1 x 10-7 cc/sec氦气

铝质型号： 阳极氧化铝、316不锈鋼、铜和氟橡胶O形圈

不锈钢型号： 316不锈钢和氟橡胶O形圈

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