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Si中B元素的室温扩散与吸杂现象研究
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Si中B元素的室温扩散与吸杂现象研究
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Si基磁控溅射a&,2&O&,3&Al膜制备GaN—维纳米结构的研究.pdf 61页
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山东师范大学硕士学位论文
Si基磁控溅射Ga。OJAI膜制备GaN一维纳米结构的研究
由于纳米半导体表现出的超出常规的性质，因此各种半导体材料的纳米结构成了人
们研究的热点。纳米线、纳米带和纳米棒作为新颖的一维量子材料越来越多引起了人们
的研究兴趣。2001年《科学》杂志宣布基于半导体纳米线的纳米电路是人类科学的一个
重大突破。最近《自然》杂志上一篇报道称“无论如何，纳米线、纳米棒和纳米晶须都
是纳米科技中的研究热点”。毫无疑问基于纳米结构的一维量子材料将是未来十年内科
研的新的立足点。由于在蓝光发光管和高功率电子器件方面的广泛应用，GaN是～种很
重要的宽禁带半导体材料。随着目前纳米科技的迅猛发展，人们进行了很多研究来合成
用于制备纳米器件GaN一维纳米结构，如纳米线和纳米带等。
GaN是一种直接带隙的半导体，在短波长器件领域有不可替代的作用。GaN及其相
关的固熔体可以实现带隙从1．9eV到6．2eV的连续可调，是制作短波长半导体激光器的
理想材料。目前，GaN基近紫外、蓝光和绿光发光二极管已经产业化，激光器和光探测
器的研究也方兴未艾。由于禁带较宽，GaN激光器具有较短的波长，用于激光存储将大
大提高存储密度。另外，GaN基的高亮度白光发光二极管，具有低能耗、高效率、寿命
长、价格低廉的特点，是真正的冷光源，有望在将来取代传统的白炽灯，成为主要的照
明工具，它将使人类的生活发生巨大的变革。
由于优良的性质及巨大的应用价值，GaN被誉为第三代半导体的典型代表。近年来，
GaN一维纳米结构，具有许多新奇的物理特性，在一维器件系统方面具有极大的潜在应
用价值，因此GaN的一维纳米结构的研究成为当前研究GaN纳米材料最活跃的领域之一，
我们的研究是基于si材料的GaN一维纳米结构。
Si是一类极普通且具有发展潜力的衬底材料，价格便宜，易于获得大尺寸材料和制
作电极，更重要的是在Si上生长的GaN及其器件便于和硅基大规模电路的集成。但目
前在si上生长GaN材料存在以下的几个主要问题：1)晶格失配和热膨胀系数失配。2)
两者之间存在浸润性上的差异。3)在生长过程中容易形成Si扎。因此很难直接在Si
衬底上制备出质量较高的GaN单晶。
在本论文中，我们使用了活泼金属A1作为缓冲层，采用溅射氨化两个过程在Si衬
山东师范大学硕士学位论文
底上来生长GaN低维纳米结构材料。同时作为替代蓝宝石衬底材料的探索，在氧化处理
后的A1缓冲层上也制备了GaN纳米结构。详细的描述了上述纳米结构的制备过程，探
索了制备条件和工艺参数对GaN纳米结构结晶质量和表面形貌的影响，最终找出了利用
该方法制备GaN纳米结构的最佳生长参数。根据GaN材料的低维纳米结构的在不同生长
条件下的表面形貌和结晶性能，研究了GaN纳米结构材料的生长机制。
对本论文的内容可以作如下的概括：
1．采用射频磁控溅射法在AI／Si膜和经过氧化处理的A1／Si膜上分别沉积Ga。0。薄膜，
然后通过薄膜样品的氨化反应获得GaN的低维纳米结构材料。Al薄膜和氧化处理成
的n-Al扣。作为中间层，我们发现，在同样的Ga：如薄膜厚度、氮化温度和氨化时间
下，中间层的存在对Si衬底上的GaN低维纳米结构的密度、结晶质量以及表面平滑
性能均有较大的提高作用。
2．通过对相同的氨化时间和氨化温度下的样品对比，认为生长GaN纳米结构结晶质量
最好的的A1缓冲层厚度约为20nm，小于或大于该厚度，均不利于纳米结构的形成，
厚度为则300nⅡL
3．在最佳的温度、厚度和氨化时间条件下，得到了表面较平滑的GaN纳米线，直径大
约在50hm，用XRD测试分析，该纳米线为六方相的GaN晶体，进一步对其选区电子衍
生长取向为[100]方向，纳米线轴向与[100]方向成50。。
4．不同氨化时闯下纳米线的形态不同，随氯化时间的延长，在Al缓冲层和经过氧化处
理的A1缓冲层表面的纳米结构大致经历了：大的颗粒分布——粗棒的聚集——细线
的团聚一平直柱状的变化过程。
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手术后，胰头CT平扫，发现结节状高密度影...
病情描述（发病时间、主要症状、症状变化等）：手术后，胰头CT平扫，发现结节状高密度影，什么意思？是不是预示着癌症的扩散。曾经治疗情况和效果：已经做过手术一周，做CT扫描，胰头CT平扫，发现结节状高密度影，什么意思？是不是预示着癌症的扩散。想得到怎样的帮助：手术后，胰头CT平扫，发现结节状高密度影，什么意思？是不是预示着癌症的扩散。
医院出诊医生
擅长：中医肿瘤、脑癌等
擅长：治疗中晚期等恶性肿瘤、癌症
提问者采纳
因不能面诊，医生的建议及药品推荐仅供参考
职称：主治医师
专长：四肢骨折、神经损伤、妇科炎症、艾滋咨询等
&&已帮助用户：70779
问题分析：你好，这个结节状高密度影可能是钙化的问题，这个一般来说术后才一周，复发的可能性小，复发也不会那么快的意见建议：这个目前的情况积极治疗，预防伤口感染等情况，另外就是后期注意定期随访复查下的，还有就是观察结节有无明显的变化
追问：我岳父是半月前查处壶腹周围癌，具体在十二指肠乳头处，已做了手术，CT发现胰头有高密度影。请问，后期治疗，化疗还是中药治疗比较好，老人体质较弱，人比较瘦。172cm高 ，56公斤。
回复：这个需要综合判断，可以考虑化疗
职称：医师
专长：骨折,骨关节炎,缺血性坏死,关节脱位,骨膜炎,肋骨...
&&已帮助用户：83430
问题分析：像你说的这个情况，那你当初基础的，即便是什么也就是说是因为什么疾病做的手术，你当初就是因为出现了胰腺癌，而导致你进行的手术吗？意见建议：你应该是把这个情况描述清楚，单纯你这个身体，平扫的结果n虽然说发现了这个工地都得颖，但是我们不能根据这个情况，就说这个高密电影就是癌症的表现，这个是没有办法完全判断的
职称：主治医师
专长：外科、尤其擅长骨折
&&已帮助用户：58164
问题分析：这种情况不可能随便确定是癌症的。有高密度的结节不一定是癌症引起的，也看不能确定是癌细胞的扩散的。有可能是良性的钙化引起的结节。意见建议：建议进一步做加强CT及磁共振检查才能考虑有没有恶性肿瘤的特点的。同时还要看检查肝功能，胰腺功能等指标综合判断及全身引起的症状。不可能只凭这些就可以确定的。
问胰头区疑似稍低密度结影,1.4cm结节影
职称：医师
专长：霉菌性阴道炎,宫颈糜烂,痛经
&&已帮助用户：243497
指导意见：癌症晚期中医效果较好,因为晚期癌症患者因为癌细胞消耗性大体质虚弱,癌细胞大多已经多处转移,西医局部治疗效果不佳,而且患 者也不能耐受 手术与放化疗,服用中药可以全面调理机体内环境,补气养血,扶正祛邪,有效控制病情,缓解痛苦,延长生命。。
问肺部结节病灶是不是就是癌症的病
职称：医师
专长：肺炎,肺部感染,急性上呼吸道感染,病毒性上呼吸道感染
&&已帮助用户：1930
问题分析：你好，肺部结节病灶并不能完全等同癌症的，还可以是结核病灶、尘肺的病灶等。意见建议：所以，建议您可以定期复查，看结节是否有进一步增大，如有增大，在考虑进一步检查，如：CT引导下的穿刺结节行病理检查，明确是否是癌症。
问胰腺结节是不是癌症还是什么
职称：医生会员
专长：恶性肿瘤
&&已帮助用户：3802
病情分析： 一个结节还是不能说明问题的，建议做一下增强看看。明确诊断意见建议：建议您到医院制定综合科学的治疗方案。不要贻误诊治，积极配合治疗，祝您健康
问1.5CM高密度结节影癌症可能大吗
职称：医师
专长：消化系统疾病
&&已帮助用户：16320
问题分析：患者的影像学检查，需要排除陈旧性肺结核及肿瘤引起的可能。意见建议：建议检查肿瘤指标，必要时肺部穿刺检查及病理活检，才能明确诊断疾病。
问双中上肺可见模糊结节状高密度影 其余俩侧肺野清晰是不是癌症。
职称：医生会员
专长：消化系统疾病、骨关节系统疾病
&&已帮助用户：813
病情分析：你好，根据你检查的结果表现来看，目前结节的可以考虑有肺结核、炎症、肺癌或者转移癌可能性比较大。
意见建议：不知道你这检查做的是胸片还是CT，建议你可以做一个肺增强CT来帮助明确结节的性质，如果还不能明确的话可以先抗炎治疗2周后复查CT，如果结节有较前好转可以考虑是炎症的可能性大。
问你好：请问，肺部小结节影是癌症吗？
职称：医生会员
专长：生殖健康疾病，心理咨询
&&已帮助用户：17608
病情分析： 这是先看看肺CT片子，看看倾向于结核还是癌。如果暂无法确诊，可以追踪观察。意见建议：不一定是癌症，也可能是炎症结核
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男16岁|科室：肝炎专科
衡水市安平县南王庄卫生院
你好这个高密度影说明是钙化的，说明已经治愈，结核灶钙化就已经好了，这是好现象
拇指医生提醒您：医生建议仅供参考。
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完善患者资料：*性别：
你好，根据你的报告描述，目前考虑可能是结核，建议先用消炎的药物治疗，短期内在做一...
您好，有好转的情况，建议您继续抗结核药物治疗。
这种情况需要进一步检查胸部CT，如果有痰可以痰检。
条索状的高密度影子的话是提示陈旧性的病变，和之前结核是有关系的
患者的情况需要警惕是否是肺结核导致的肺部病变的，你可以给于抗结核治疗的
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