一种用于纠正蓝宝石晶棒端面晶向的光学定位工具的制作方法
专利名称一种用于纠正蓝宝石晶棒端面晶向的光学定位工具的制作方法
技术领域本实用新型提供一种能够准确保证工件规定加工方向的定位工具，具体涉及一种蓝宝石晶棒端面平磨纠正晶向过程中晶棒端面标示直线与底部粘板相互平行的光学定位工具。
背景技术蓝宝石具有硬度高、耐高温、绝缘性好等一系列优点，被广泛应用在高亮度LED衬底制造方面。制作蓝宝石衬底首先需要加工出高定向精度的晶棒，在此基础上进行切片，研磨、抛光等工序成为合格产品。为了更好地与外延层晶格匹配，减少外延层缺陷，对蓝宝石衬底片晶向具有严格的要求，一般晶向偏差要求在0.02、.05度。因此，在晶棒加工过程中，需要对晶棒端面晶向进行纠正。目前采取的方法是，在X射线衍射仪上检测完晶棒端面的晶向后，如果晶向的精度不符合要求，就需要根据X射线衍射仪测试结果确定出需要纠正偏差的方向和角度值，并在晶棒的端面划出定位直线。然后将晶棒放在钢制方形平面粘板上，此时需要转动晶棒，用肉眼来观察，使晶棒端面上所划定位直线和钢制方形平面粘板上某一条基准边平行后再固定晶棒。最后，根据所需调整角度，用磨床来对晶棒端面进行磨削，完成晶向纠正。这种方法的问题在于，由于是通过肉眼来观察晶棒端面上所划的定位直线和钢制方形平面粘板上某一条基准边是否平行的，容易造成人为定位偏差。需要对晶棒的端面晶向进行多次纠正，既影响了加工效率，又增加了产品的加工成本。
发明内容本实用新型的目的是提供一种在蓝宝石晶棒端面平磨纠正晶向过程中能够快速准确确定晶棒端面标示直线与底部粘板相互平行的用于纠正蓝宝石晶棒端面晶向的光学定位工具。本实用新型的目的是这样实现的:它包括底座4、支架3、光学系统I和导轨7四部分，支架3固定在底座4上，支架3上面安装有两根横梁2，两根横梁2之间设置有导轨7，光学系统I设置在导轨7上，可以通过导轨前后滑动，光学系统中包括依次设置的LED光源
8、一组光学透镜9、机械隙缝10和聚焦镜筒11，底座4上设置有钢制方形平面粘板5，待加工晶棒6放置在钢制方形平面粘板5上。本实用新型还有这样一些技术特征:1、所述的底座上设置有直角突起，钢制方形平面粘板紧靠在定位工具底座的直角突起上；2、所述的光学系统中，从上到下依次装有LED光源8、一组光学透镜9、机械隙缝10和聚焦镜筒11，机械缝隙10及聚焦镜筒11置于一组光学透镜9中右侧的透镜上，光学透镜使LED光源发出的光汇聚，汇聚后光线通过机械狭缝后变成一条直线出射光，调整聚焦镜筒直到光线变成一条清晰的直线。[0010]本实用新型的技术特点有:1、机械隙缝可以使得光源发出的光通过机械隙缝后，使光学系统最后发出的光为一条直线。该直光线的方向与底座标示中线平行。2、光学系统可以沿导轨前后滑动。3、聚焦镜筒可以旋动，可以调整照射在晶棒端面上的直线光的清晰度。本实用新型的有益效果是，首先在使用前校正光线位置与底座中线平行。然后将钢制方形平面粘板靠在底座突起上，确保粘板与底座中线平行。最后通过调整光学系统确定晶棒标示直线与粘板平行。这样也就保证了晶棒端面上所划的定位直线与钢制方形平面粘板基准边平行，进而保证加工方向的准确性。机械隙缝10可以使得光源发出的光，最终照射在晶棒端面上是一条直的光线。聚焦镜筒11可以保证照射在晶棒端面上的直的光线的清晰度。本实用新型解决了生产过程中，为了纠正蓝宝石晶棒端面的晶向，采用肉眼来对晶棒端面进行加工定位所带来的精度不高的问题，提高了定位精度和工作效率，节省了加工成本。
图1为本实用新型的结构示意图；图2为图1的侧视图；图3为图1的俯视图；图4为光学系统结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施方式
对本实用新型进行详细说明。结合图1，本实用新型包括底座4及固定在底座上的支架3，支架3上面安装有横梁2，两根横梁2间架有导轨7。光学系统I安放在导轨7上，可以通过导轨前后滑动。光学系统中包括依次设置的LED光源8、一组光学透镜9、机械隙缝10和聚焦镜筒11，底座4上设置有钢制方形平面粘板5，待加工晶棒6放置在钢制方形平面粘板5上结合图4，机械隙缝10可以使得光源发出的光，最终照射在晶棒端面上是一条直的光线。聚焦镜筒11可以保证照射在晶棒端面上的直的光线的清晰度。在X射线衍射仪上检测完晶棒端面的晶向并确定出需要纠正偏差的方向和角度值后，在晶棒的端面划出定位直线。首先在使用前校正光线位置与底座中线平行。然后将钢制方形平面粘板紧靠在定位工具底座的直角突起上，调整光学系统位置，使晶棒端面上所划的定位直线和光学系统发出的直线光重合，然后固定晶棒。
权利要求1.一种用于纠正蓝宝石晶棒端面晶向的光学定位工具，其特征在于它包括底座、支架、光学系统和导轨四部分，支架固定在底座上，支架上面安装有两根横梁，两根横梁之间设置有导轨，光学系统设置在导轨上，可以通过导轨前后滑动，光学系统包括依次设置的LED光源、一组光学透镜、机械隙缝和聚焦镜筒，底座上设置有钢制方形平面粘板，待加工晶棒放置在钢制方形平面粘板上。
2.根据权利要求1所述的一种用于纠正蓝宝石晶棒端面晶向的光学定位工具，其特征在于所述的底座上设置有直角突起，钢制方形平面粘板紧靠在定位工具底座的直角突起上。
3.根据权利要求1或2所述的一种用于纠正蓝宝石晶棒端面晶向的光学定位工具，其特征在于所述的机械缝隙及聚焦镜筒置于一组光学透镜中右侧的透镜上，光学透镜使LED光源发出的光汇聚，汇聚后光线通过机械狭缝后变成一条直线出射光，调整聚焦镜筒直到光线变成一条清晰的直线。
专利摘要本实用新型提供了一种用于纠正蓝宝石晶棒端面晶向的光学定位工具。它包括底座、支架、光学系统和导轨四部分，支架固定在底座上，支架上面安装有两根横梁，两根横梁之间设置有导轨，光学系统设置在导轨上，可以通过导轨前后滑动，光学系统中包括依次设置的LED光源、一组光学透镜、机械隙缝和聚焦镜筒，底座上设置有钢制方形平面粘板，待加工晶棒放置在钢制方形平面粘板上。本实用新型解决了生产过程中，为了纠正蓝宝石晶棒端面的晶向，采用肉眼来对晶棒端面进行加工定位所带来的精度不高的问题，提高了定位精度和工作效率，节省了加工成本。
文档编号B24B7/16GKSQ
公开日日 申请日期日 优先权日日
发明者左洪波, 杨鑫宏 申请人:哈尔滨奥瑞德光电技术股份有限公司}